一，質量流量控制器簡介

質量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 在現代工業過程中扮演著至關重要的角色。它憑借其高精度、穩定性以及在多個行業中的廣泛應用。與傳統的體積流量控制器不同，MFC直接以氣體的質量為控制對象，這在溫度波動大或氣體種類繁多的環境下顯得尤為重要。由于氣體的體積會隨溫度和壓力的變化而變化，而質量則保持恒定，因此MFC能夠提供更加穩定、準確的流量控制，從而確保生產過程的穩定性和產品質量的一致性。MFC的主要功能包括精確流量控制、流量監測與顯示以及氣體混合控制。在精確流量控制方面，MFC可根據工藝需求精確設定和調節氣體或液體的質量流量值，通過內部的控制機構和算法將實際流量穩定在設定值，確保流量的準確性和穩定性。此外，MFC在小流量控制方面也表現出色，能精確控制如幾毫升每分鐘甚至更小的流量，滿足生物醫藥、微電子等對微量流體精確控制的需求。同時，MFC還具備實時流量監測與顯示功能。它內置流量傳感器實時監測流體的質量流量，并將流量數據轉換為電信號供系統實時獲取。此外，MFC通常配備顯示屏直觀顯示實時流量值，方便操作人員查看和記錄，也可通過通信接口將數據傳輸到上位機或控制系統實現遠程監測和管理。此外，MFC還廣泛應用于氣體混合控制領域。它能夠精確控制多種氣體的混合比例和質量流量，滿足不同工藝需求。在半導體制造、化學工程、生物醫藥等多個行業中，MFC都發揮著舉足輕重的作用。氣體質量流量單位一般以sccm（Standard CubicCentimeter per Minute，每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute，每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態下的流量。標準狀態規定為： 氣壓—101325Pa（760mm Hg）; 溫度—0℃ （273。15K）。這是這種儀表和其它流量計的重要區別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。對多數用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量（如g/min），這個要求是很容易實現的。因為標準狀態下的氣體密度是一個常數， 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現。所以說，在標準狀態下的體積流量就等同于質量流量。