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愛拓利精準流量測控

專注于微小氣體流量測量與控制

服務熱線:4008919886

產品中心

PRODUCTS CENTER

當前位置:首頁產品中心流量計氣體質量流量控制器MFC330-05E氣體質量流量控制器

氣體質量流量控制器
產品簡介:

MFC330-05E 氣體質量流量控制器結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

產品型號:MFC330-05E

更新時間:2025-06-12

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :660

服務熱線

18168878188

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產品介紹

MFC330-05E氣體質量流量控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構,即使環境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330-05E氣體質量流量控制器依然能夠保持穩定的流量控制。

氣體質量流量控制器

MFC330工作原理:

產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大:0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案


主要參數:
介質要求
潔凈干燥氣體
氣體種類
98+氣體可選
量程
0-2,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
測量范圍
0.5%F.S.(1:200)
控制范圍
1%-100% FS.(1:100)
準確度
標準:±1% F.S.
高精度
±0.5%
重復精度
±0.2%F.S.
線性度
±0.2%F.S.
控制響應時間
<3 秒
預熱時間
5 min(T95),30 分鐘最佳
閥門
常閉式
泄漏率
1*10-11Pa.m3/sec He


機械特性
最大工作壓力
3 MPa(30bar)
工作壓差范圍
0-1 MPa
工作溫度范圍
-20~65℃(環境和氣體)
溫度范圍
0 ~ 98%無凝露
氣路接頭類型
卡套、VCR、快插、快擰(可選)
氣體接觸材質
氟橡膠、304/316不銹鋼
密封材質
氟橡膠 FKM
防護等級
IP40
安裝方式
水平安裝方向校準
固定孔
M4 ↓ 5mm
重量
0.96kg
電氣和通訊
電氣連接接口類型
DB-9 公頭
模擬信號
0 - 5 VDC,4 - 20 mA(可定制)
輸入輸出阻抗
輸入阻抗>10MΩ,輸出阻抗<1KΩ
模擬數據更新頻率
200Hz
數字信號
Modbus RTU (RS232, RS485), CAN
通信速率
9600(默認),14400,19200,38400,56000,57600,115200 bps(用戶可修改)
電源
15-40 VDC,<200 mA
顯示更新頻率
50Hz
模擬信號精度
±0.05%F.S.
特征
標況
20℃,1 atm
氣體選擇
可選,具體參考說明書氣體系數
軟件
Aitoly分階流量軟件
尺寸:
滿量程深度ABCDE重量
2 sccm~50 slpm125.00 mm76.00 mm32.00 mm64.00 mm17.80 mm7.00 mm6.00 mmM4 ↓ 5 mm≈0.96 kg
4.921 in2.992 in1.260 in2.520 in0.701 in0.276 in0.236 inM4 ↓ 0.197 in≈2.1 lb
100 sccm~500 slpm138 mm82 mm38 mm62 mm30 mm10 mm10 mmM4 ↓ 8 mm≈1.3 kg
5.43 in3.221.4962.2201.1810.3930.393 inM4 ↓ 0.31 in≈2.88 lb

產品選型:
氣體質量流量控制器



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