產品特點

超快響應：5ms 測量響應，300ms控制響應 高重復性，寬量程比 更小體積，安裝方便 無需預熱，使用便捷 分階流量控制軟件，靈活配置

分階流量控制軟件，靈活配置

MFC300 氮氣質量流量控制器產品采用單電源供電(15~40VDC)；可模擬 量和數字通訊（CAN、RS485、RS232）顯示和控制氣體流 量，可以直接跟本公司的 MFC 控制器配合使用，也可以 直接連電腦通訊，并通過數字通訊改變控制流量或通訊 設置；也可以連二次儀表顯示；具有多氣體測量，高精 度，高穩定性，極低零漂特性。

氮氣質量流量控制器能夠在較大的量程范圍內在線實時地精確控制氣流質量流量。利用氣流流過不銹鋼毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質量流量。

與其它流量計不同，質量流量計流量精度不受氣體壓力、環境溫度影響。上下游溫差測量電路信號實時反映氣流瞬時流量，并通過PID電路實時控制比例電磁閥而精確控制流量，所以特別適用于過程控制中在線實時的氣體流量的精確測量和控制。