高精度氣體流量控制器廠家

產品簡介：

高精度氣體流量控制器廠家MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，依然能夠保持穩定的流量控制。

產品型號：MFC330

更新時間：2025-06-12

廠商性質：生產廠家

訪問量：470

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流量計

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什么情況下用質量流量計, 什么情況下用質量流量控制器 ?

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MFC（Mass Flow Controller，質量流量控制器）在熱噴涂設備行業中的應用

氣體質量流量控制器的選擇與使用注意要點

氣體流量計的測量范圍

產品介紹

高精度氣體流量控制器廠家MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，依然能夠保持穩定的流量控制。

高精度氣體流量控制器廠家

主要參數

介質要求潔凈干燥氣體

氣體種類 98+氣體可選

量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍 0.5%F.S.（1:200）

控制范圍 1%-100% FS.（1:100）

準確度 ±1% F.S.

重復精度 ±0.2%F.S.

線性度 ±0.2%F.S.

控制響應時間 <3 秒

預熱時間 5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門常閉式

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