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愛拓利精準流量測控

專注于微小氣體流量測量與控制

服務熱線:4008919886

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愛拓利微流量氣體流量計
產品簡介:

愛拓利微流量氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構,即使環境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

產品型號:MFC330

更新時間:2025-06-12

廠商性質:生產廠家

訪 問 量 :285

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產品介紹
  愛拓利微流量氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
 
  被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構,即使環境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。
 
愛拓利微流量氣體流量計
MFC330工作原理
 
  產品特點
 
  精準質量流量測量/控制
 
  快速響應、高重復性
 
  不受溫度和壓力的影響
 
  工作壓差范圍大:0-1MPa
 
  低壓損可選
 
  全金屬比例閥可選
 
  集成顯示器可選
 
  經濟有效的解決方案
 
  技術參數   主要參數
 
  介質要求  潔凈干燥氣體
 
  氣體種類  98+氣體可選
 
  量程  0-2,10,20,50,100,300,500 sccm
 
  0-1,2,5,10,20,30,50,100,200,500slpm
 
  測量范圍  0.5%F.S.(1:200)
 
  控制范圍  1%-100% FS.(1:100)
 
  準確度 ±1% F.S.
 
  重復精度  ±0.2%F.S.
 
  線性度  ±0.2%F.S.
 
  控制響應時間  <3 秒
 
  預熱時間  5 min(T95),30 分鐘最佳
 
  閥門 常閉式
 
 

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