江蘇氣體質量流量控制器-Alicat平替

產品簡介：

江蘇氣體質量流量控制器-Alicat平替MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

產品型號：MFC330

更新時間：2025-06-12

廠商性質：生產廠家

訪問量：346

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產品介紹

　　江蘇氣體質量流量控制器-Alicat平替MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

　　被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

MFC330工作原理

　　產品特點

　　精準質量流量測量/控制

　　快速響應、高重復性

　　不受溫度和壓力的影響

　　工作壓差范圍大：0-1MPa

　　低壓損可選

　　全金屬比例閥可選

　　集成顯示器可選

　　經濟有效的解決方案

　　參數

　　介質要求潔凈干燥氣體

　　氣體種類 98+氣體可選

　　量程 0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

　　0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

　　測量范圍 0.5%F.S.(1:200)

　　控制范圍 1%-100% FS.(1:100)

　　準確度 ±1% F.S.

　　重復精度 ±0.2%F.S.

　　線性度 ±0.2%F.S.

　　控制響應時間 <3 秒

　　預熱時間 5 min(T95)，30 分鐘最佳

　　閥門常閉式

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