愛拓利微小氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

技術參數

主要參數

介質要求   潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間<3 秒

預熱時間  5 min（T95），30 分鐘優良

閥門  常閉式

愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS由蘇州愛拓利電子設備有限公司及無錫愛拓利電子科技有限公司組成。總部蘇州愛拓利位于蘇州市吳江區柳胥路99號半導體智能制造創新港。分公司無錫愛拓利成立于2017年，位于無錫新吳區清源路20號大學科技園。愛拓利精準流量測控AITOLY INSTRUMENTS，專業從事氣體質量流量測量與控制。愛拓利擁有自己的研發團隊，具有高水平的產品設計、結構、硬件和軟件等研發能力，是國內少數能夠自主研發生產高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業，更是國內極少數能夠自主研發生產氣體流量計及流量控制器核心部件（高精度氣體流量傳感器和高穩定性微型比例閥）的氣體流量控制產品生產廠家。愛拓利質量流量計及控制器被廣泛應用于半導體、光伏、真空鍍膜、生命科學、燃料電池、精度分析儀器、石化、制氣、醫療、食品、工業自動化控制等行業。在不斷追求創新和突破的同時，愛拓利十分注重產品品質。愛拓利有一套嚴謹科學的檢測標準和質量控制體系，并通過了ISO9001質量體系認證。通過標準化生產，規范化管理，愛拓利持續穩定地向顧客提供高質量的合格產品。通過多年的研發、生產和應用經驗積淀，愛拓利先后推出了多款氣體質量流量計和控制器。支持多種通訊協議，氣體種類覆蓋面廣、控制及測量精度高、響應速度快、性能穩定。