我公司自主研發的 MFC330 氣體質量流量控制器（以下簡稱 MFC330），

主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。采用優質的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準、穩定和簡便，內置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償；支持多種通訊協議，可以方便高 效的與電腦、PLC、工業觸摸屏、單片機等進行通訊；具有多氣體測量，高  精度，高穩定性，極低零漂等特性。

MFC330在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工

業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型 的應用場合包括:  電子工藝設備,  如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子刻

蝕、濺射、離子注入;  以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系 統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

    產品特點

精準質量流量測量/控制

快速響應、高重復性

不受溫度和壓力的影響

工作壓差范圍大：0-1MPa

低壓損可選

全金屬比例閥可選

集成顯示器可選

經濟有效的解決方案

主要參數

介質要求  潔凈干燥氣體

氣體種類  98+氣體可選

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍   1%-100% FS.（1:100）

準確度  ±1% F.S.

重復精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應時間  <3 秒

預熱時間  5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門  常閉式