MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。

被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

我公司自主研發的 MFC330 氣體質量流量控制器（以下簡稱 MFC330），

主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。采用優質的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準、穩定和簡便，內置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償；支持多種通訊協議，可以方便高 效的與電腦、PLC、工業觸摸屏、單片機等進行通訊；具有多氣體測量，高  精度，高穩定性，極低零漂等特性。

MFC330在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工

業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型 的應用場合包括:  電子工藝設備,  如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入;  以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系 統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。