流量傳感器采用

流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產生的溫度場變化 來測量氣體質量流量，通過電橋將溫度場的變化轉化為電信號并經過電 路放大、濾波處理，處理后的信號采集進處理器芯片，再通過氣體流量 外標法和溫壓補償得到準確的真實氣體流量值。氣體實際流量值與流量 設定值進行比較,  將差值通過智能算法去控制調節閥門，閉環控制流過 通道的流量使之與流量設定值相等，實現氣體流量的精準控制。

我公司自主研發的 MFC330 氣體質量流量控制器（以下簡稱 MFC330），

主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。采用優質的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準、穩定和簡便，內置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償；支持多種通訊協議，可以方便高 效的與電腦、PLC、工業觸摸屏、單片機等進行通訊；具有多氣體測量，高  精度，高穩定性，極低零漂等特性。

MFC330在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工

業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型 的應用場合包括:  電子工藝設備,  如擴散、氧化、外延、 CVD、等離子刻

蝕、濺射、離子注入;  以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系 統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。