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數顯氣體流量控制器是一種用于精確測量和控制氣體流量的設備,能夠直接測量通過流量計的介質的質量流量,還可測量介質的密度及間接測量介質的溫度。
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熱式氣體流量計 MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。 被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構,即使環境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。
MFM330 氣體質量流量計結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。
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