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MFC300 氮氣質量流量控制器系列氣體質量流量計/控制器,該系列采用 MEMS 流量傳感器,自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快,寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。
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熱式氣體流量計 MFC330 系列氣體質量流量計/控制器,其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。 被測氣體進入后,先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構,即使環境溫度變化或進出口氣壓波動,MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。
皂膜氣體流量標準裝置可根據不同的測量量程選擇適合的測量通道,大大提高氣體流量的測量范圍及測量精度,測量通道切換簡便。
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