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上海熱式氣體質量流量計流量傳感器采用氣體流過外熱源加熱的毛細管時產生的溫度場變化 來測量氣體質量流量，通過電橋將溫度場的變化轉化為電信號并經過電 路放大、濾波處理，處理后的信號采集進處理器芯片，再通過氣體流量 外標法和溫壓補償得到準確的真實氣體流量值。氣體實際流量值與流量 設定值進行比較, 將差值通過智能算法去控制調節閥門，閉環控制流過 通道的流量使之與流量設定值相等，實現氣體流量的精準控制。

微流量氣體流量計平替進口同類產品MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。

平替進口HORIBA氣體流量計 MFC300 產品采用單電源供電(15~40VDC)；可模擬 量和數字通訊（CAN、RS485、RS232）顯示和控制氣體流 量，可以直接跟本公司的 MFC 控制器配合使用，也可以 直接連電腦通訊，并通過數字通訊改變控制流量或通訊 設置；也可以連二次儀表顯示；具有多氣體測量，高精 度，高穩定性，極低零漂特性。

高精度氣體流量計廠家我公司自主研發的 MFC330 氣體質量流量控制器（以下簡稱 MFC330）， 主要用于對氣體的質量流量進行精確測量和控制。采用優質的核心部件、高 性能的處理器芯片、智能的控制算法及簡潔直觀的操作界面，使氣體流量控 制更加精準、穩定和簡便，內置溫度和壓力傳感器，采集氣路溫度、壓力值 外，進一步對氣體流量控制進行溫壓補償

氣體流量計測量MFC300 系列氣體質量流量計/控制器，該系列采用 MEMS 流量傳感器，自帶溫度和壓力補償。具有響應速度快，寬量程比、壓損小、體積小巧安裝方式靈活的特點。

平替進口產品微小氣體流量計MFC330 系列氣體質量流量計/控制器，其結構包含毛細管柱式流量傳感器、旁路分流系統、高精度比例閥和控制系統。 被測氣體進入后，先通過傳感器和旁路分流系統。由傳感器實時測量氣體流量、高精度比例閥動態響應快速調節氣體流量至設定值。測量與調節流量的閉環結構，即使環境溫度變化或進出口氣壓波動，MFC330 依然能夠保持穩定的流量控制。